NIR-01-PL光致發光升級系統
NIR-01-PL光致發光升級系統是Phys最新開發的一套用在NIR-01紅外探傷儀上的升級組件,這是根據太陽能生產廠商要求所做的功能擴展。經過升級后NIR-01紅外探傷儀將擁有以下功能:
■ 紅外檢測:隱裂、孔洞、微晶、夾雜等,擁有一樣的參數、功能和使用方法
■ 檢測高度拓展至420mm
■ 可集成的光致發光檢測功能:
PL成像
生成基于PL檢測的切割線
生成少子壽命分布圖及少子壽命切割線
根據雜質和缺陷預測硅片加工成電池片后的效率升級詳情:
一、檢測高度升級,拓展至420mm:
■ 硅錠檢測尺寸可達到210x210x420mm
■ 采用新的設計,隱藏驅動電機
二、加入PL光致發光檢測模塊
PL光致發光檢測模塊可在客戶的授權下由Phys工程師升級。我們升級過程將最大化的縮短停機時間。
一個精密的激光系統將安裝到NIR-01,技術細節:
■ 采用實時保護的專用電源(計算機控制)
■ 精密的TEC溫度確保激光的長時間工作
■ 采用安全開關遵循安全條例安裝到機器上
■ 升級NIR-01的運動控制系統
■ 軟件升級
技術指標:
■ 硅錠尺寸:156x156x420mm
■ 檢測效率:實時的50fps紅外影像
8s采集PL圖像
1min內完成四個面的IR+PL分析
■ PL分辨率:0.1mm
■ 表面要求:未處理或拋光
■ IR、PL檢測在同一個載物臺
軟件升級:
升級后NIRVision軟件保持通用的界面和功能,此外集成PL圖像和分析功能。
■ 擁有PL檢測圖像的3D視圖
■ 生成基于閥值的切割線(亮度/對照少子壽命)
■ 雜質和缺陷面積可計算(可選)
■ 切割模型預測(可選)部分公開客戶名單:
Silicio Solar - Spain
Pillar JSC - Ukraine
Q-Cell- Germany
PV Crystalox - England
DC Wafers - Spain
Lux s.r.l. – Italy
……實例檢測結果(下一頁)
檢測結果舉例:
1、檢測原理及PL發光峰檢測結果
PL光致發光系統簡單示意圖
NIR- 01 PL檢測發光波峰結果
通常利用特定波長的激光作為激發光源,提供一定能量的光子,樣片中處于基態的電子在吸收這些光子后而進入激發態,處于激發態的電子屬于亞穩態,在短時間內會回到基態,并發出1150 nm(SI電池為例)左右的紅外光為波峰的熒光。利用高靈敏高分辨率的照相機進行感光,然后將圖像通過軟件進行分析。
發光的強度與本位置的非平衡少數載流子的濃度成正比,而缺陷將是少數載流子的強復合中心,因此該區域的少數載流子濃度變小導致熒光效應減弱,在圖像上表現出來就成為暗色的點、線,或一定的區域,而在樣片內復合較少的區域則表現為比較亮的區域。因此,可通過觀察光致發光成像,來判斷樣片是否存在缺陷,雜質等等最終影響電池效率的因素。
2、硅塊PL檢測結果
硅塊PL結果為合能陽光獨家檢測,設備是匈牙利PHYS公司NIR-01光致發光升級系統。
通過這個結果可以很明顯的找到去頭尾線,為晶塊的品質提供非常快速和精準的檢測。
另外,立體檢測,可以對樣品進行不同角度的分析。3、PL與uPCD結果對比
(1) PL結果與uPCD少子壽命結果對比,通過擬合兩者間匹配度達98.65%
(2) PL圖像能夠直觀和準確的反應出樣品表面的問題,而uPCD不能實現
(3) PL像素可分辨0.175mm2,而uPCD僅可分辨1 mm2
4、PL與IR結果
1.PL和紅外都可以檢測到樣品的裂紋
2.PL和紅外結果可實現相互對比分析
通過IR和PL的共同分析,可以精確劃分硅塊的頭尾線。避免SIC對后續切片的影響。
其他結果不再一一列舉,如需要更多資料請聯系合能陽光!